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第七百二十三章 第一步 【求订阅】
    “许董,按照目前的情况来看,我们集团公司生产的激光光路系统应该能跟老外的光刻机配套。”胡明镇只有九层把握,并没有把情况说死。他还是有点担心这套激光光路系统不能提供精准的激光光源。
    光刻机的原理和照相机的原理基本一样,都是用曝光来成像。但第三代光刻机的精度非常高,最低可达到0.018微米。倘若再使用FinFET制程技术和浸润式光刻制程技术,精度要达到0.01微米以下。
    由此可以想到,第三代光刻机对激光光源的功率、稳定性的要求肯定非常高,一般的国家不能生产这种尖端设备。这也是胡明镇所担心的事情。
    胡明镇一边说话,一边指挥着李全等人怎么组装激光发生器、光学仪器、光学镜头等精密设备。这套装配流程非常重要,能直接影响到激光光路系统的精度和可靠性,胡明镇不得不小心行事。
    “装配工作什么时间能完成?”
    看到李全等人的进度不是很快,许振鸣认为站在这里没啥意思,准备再去隔壁车间巡视一下。临走之前,他向胡明镇要了一份这台光刻机装配和调试的工程进度表。
    “许董,如果一切顺利,我们会在元月28日左右开始试生产,并且用这台光刻机来流片。”胡明镇比较忙,跟许振鸣说了几句,又开始投入工作。
    许振鸣见此,拿着一摞用A4纸打印的资料,一边翻看着一边朝隔壁的车间走去。
    “三天内完成设备组装和安装,五天内调试好这台设备,第九天以后开始做试生产的准备…嗯,这个计划还算可以。”
    许振鸣一边走路一边颔首点头,认为胡明镇的工作做得不错,准备很充分。
    不多久,他来到4号钢构厂房的另外一个光刻室。
    这间光刻室是用来安装国产光刻机的生产车间。
    车间里此时也非常忙碌,万宁古、何昌林和郝宁等人也正在装配第三代光刻机。
    他们这边的进度好像要快了许多,激光光路系统的部件已经组装完成,光刻机的主体系统也已经组装好。万古宁等人正在召开现场讨论会,好像要准备进行光刻机的总装工序。
    看到这种情况,许振鸣倒是不理解,“老万,你们这边的进度为啥要快一些?”
    “许董,这台光刻机的主要部件我们都已经准备好,就等着总装和调试。”万宁古告诉许振鸣这台光刻机的激光光路系统是进口货,其实根本不要检验其性能。最关键的事情就看光刻机总装以后的效果。
    “光刻机的精度主要是受主体系统、底座、横移、减震等子系统的影响。万一这台设备的主体机械系统精度不够,我们的项目还是没成功。”
    说到最后,万宁古的眉毛全都皱了起来。他对这台光刻机主体系统的精度很担心,心里没有十足的把握。
    听到这话,许振鸣的心情也好不起来。“你们需要多长时间来准备?”念及此,许振鸣想要知道万宁古等人的总装和调试计划。
    “三天左右吧。”何昌林扫了一眼现场的情况,缓缓说道。
    “三天恐怕不行,最少要五天时间。”
    “最多五天时间,许董。五天以后,我们就能做流片试验了。”
    万宁古和郝宁等人的意见还不统一,一个说要三天多,一个说要五天时间。
    看到这种情况,许振鸣微微点了点头,“好,五天以后我再看你们的成果。”说完这些,他也没心思在这里等待着,拿着一摞报表资料就离开了4号钢构大厂房。
    五天后的上午九点左右,许振鸣再一次的来到这间光刻室,想要了解万宁古等人的项目进度情况。
    这时候,车间里已经整理干净,一台组装好的光刻机矗立在车间的正中央。
    这台光刻机就是万宁古等人的劳动成果,主体系统全是一鸣集团公司自己制造的,激光光路系统是从此米国佬光刻上拆下来的样品。
    “准备开机,先启动冷却循环水交换器系统。””万宁古此时拿着对讲机,给手下的团队成员们下达命令。
    看到许振鸣走来,他嘴角含笑的告诉许振鸣,“许董,这台国产光刻机我们已经完成初步调试,到目前为止还没有发现问题。”
    万宁古告诉许振鸣,一天以前他们就已经完成光刻机的总装,第一次初步调试发现有问题,国产激光光源系统的散热有缺陷会影响第第三代光刻机的性能。
    “所以,我们临时增加一个循环水的冷却系统来给这台光刻机降降温。”万宁古笑了笑。
    许振鸣不了解这些技术细节问题,只是对这台光刻机的成功时间节点感兴趣。“你们现在准备干吗?马上要调试了么,吗”他侧脸朝万宁古等人看了一眼。
    “许董,我们现在就是在测试这台光刻机。”
    “还有一个小时,我们就能做流片模拟实验了。”
    何昌林等人给出许振鸣明确的答复。由此看来,他们已经对这台国第三代光刻机进行过初步调试和试生产,否则没有这么大的底气。
    听到这话,许振鸣的心情倒是好了许多。他静静的的站在那里,目光落在万宁古等人的身上。
    “报告万总,循

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